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Analytik in der Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Beim M.A.S... haben Sie auch die Möglichkeit EDX Analytik in Anspruch zu nehmen.



Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX oder EDS)

Durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit der Probe wird auch Röntgenstrahlung emittiert. Diese charakteristische Röntgenstrahlung kann zur Bestimmung der Elementarzusammensetzung der Probe genutzt werden, da jedes Element Röntgenstrahlung mit einer elementspezifischen Energie emittiert.



Wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie (WDX oder WDS)

Das WDX wird meistens an Elektronenstrahlmikroanalyse (Mikrosonden) eingesetzt. Die durch die Wechselwirkung zwischen Elektronenstrahl und Probe entstehende charakteristische Röntgenstrahlung kann zur wellenlängendispersiven Röntgenspektroskopie herangezogen werden. Das Verfahren ist verwandt mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX). Die Röntgenstrahlung wird durch Beugung in ihre spektralen Bestandteile zerlegt. Das Spektrometer wird auf eine Wellenlänge eingestellt. Somit wird nur die charakteristische Röntgenstrahlung eines Elementes analysiert. Zur Aufnahme eines kompletten Spektrums müssen die verschiedenen Wellenlängenbereiche abgefahren werden.

Die Nachweisempfindlichkeit des WDX ist gegenüber dem EDX um eine Größenordnung besser. Das WDX erreicht auch eine höhere spektrale Auflösung des Röntgenspektrums. Der Vorteil des EDX ist, dass das gesamte Röntgenspektrum (gleichzeitige Analyse aller Elemente) der analysierten Probenstelle in einer Messung aufgenommen wird.